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真空バルブオーバーホール(半導体製造装置関連)

テクノリサーチパーク内の熊本事業所に設けたクリーンルーム(Class 10,000) において、専門のスタッフが高品質、低価格、短納期でのサービスをご提供致します。

対応機種一例(下記以外のバルブも対応致しますので御相談ください)

VAT 社

  • ミニUHV ゲートバルブ
  • UHVゲートバルブ
  • 真空ゲートバルブ 
  • 高真空ゲートバルブ
  • 振子式高真空バルブ
  • 角型インサート MONOVAT
  • 角型ドアー L-VAT
  • アングルバルブ他

MKS社

  • スロットルバルブ他

V-TEX社

  • ゲートバルブ
  • 振子式真空バルブ

MDC社

  • アングルバルブ他

SMC社

  • アングルバルブ他

Nor-Cal社

  • スロットルバルブ他
対応機種一例の写真
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