真空バルブオーバーホール(半導体製造装置関連)
テクノリサーチパーク内の熊本事業所に設けたクリーンルーム(Class 10,000) において、専門のスタッフが高品質、低価格、短納期でのサービスをご提供致します。
対応機種一例(下記以外のバルブも対応致しますので御相談ください)
VAT 社
- ミニUHV ゲートバルブ
- UHVゲートバルブ
- 真空ゲートバルブ
- 高真空ゲートバルブ
- 振子式高真空バルブ
- 角型インサート MONOVAT
- 角型ドアー L-VAT
- アングルバルブ他
MKS社
V-TEX社
MDC社
SMC社
Nor-Cal社